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力敏傳感器是用來檢測氣體、固體、液體等物質(zhì)間相互作用力的傳感器。常用材料有半導(dǎo)體、金屬及合成材料。目前常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器。硅壓力傳感器優(yōu)點(diǎn)是，靈敏度好、精度高、缺點(diǎn)是受溫度影響大。
力敏傳感器的主要應(yīng)用于裝備制造業(yè)工業(yè)自動化系統(tǒng)、機(jī)電一體化、科學(xué)測試儀器等裝備制造業(yè)，主要涉及過程控制用壓力、流量兩大參數(shù)的檢測、控制和執(zhí)行。
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